El polvo de pulido de nano alúmina proporciona superficies pulidas de calidad con una alta tasa de eliminación, se puede utilizar para el pulido final de muchos tipos de materiales. El polvo de nano-alúmina tiene buena estabilidad química y capacidad de adsorción, y puede suspenderse bien en solución acuosa para preparar lechada de nano-alúmina. La suspensión se utiliza para el pulido CMP, lo que permite que la pieza de trabajo obtenga una buena superficie de una variedad de materiales.